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教育部薄膜光电子技术工程研究中心

科学研究

薄膜光电子技术教育部工程研究中心是依托南开大学光电子薄膜器件与技术研究所于 2006 年 1 月向教育部提出申请建设,2006 年 10 月正式启动。

工程中心是根据南开大学薄膜光电子材料以及相关领域现有研究基础,参考国际光电子领域最新发展趋势,结合材料的薄膜化、功能化、集成化而提出的。工程中心横跨信息技术和新能源领域,充分凝聚了南开大学信息学院在薄膜光电子材料与器件方面的研究优势,依托国家 973 重点基础研究项目、863 高新技术项目和国家自然科学基金重点项目的优秀成果,以技术化、实用化、产业化为目的。目标市场主要包括太阳能光伏发电系统与关键器件产业、系统集成电路产业、新型显示器件产业、新型薄膜功能元器件产业等。

任务是建设四个平台,即:薄膜光电子材料与器件制备、测试、应用开发和集成微电子设计平台。根据学科发展以及结合社会科技发展需求,确定了四个研究和开发方向:

1) 薄膜光电材料与器件:薄膜光伏材料与器件以及相应实用化关键设备和薄膜沉积技术开发,为产业化设备国产化及产品换代提供技术支持;

2) 现代显示与微电子集成技术:开发具有自主知识产权的现代显示技术,建立集成电路设计平台、多项目晶圆、技术转移与孵化等;

3) 先进功能材料与应用:实用高温超导薄膜及新型磁性薄膜功能材料的制备技术;

4) 新能源发电工程与应用技术:解决分布式新能源独立和混合并网发电系统建设过程中的相关技术问题,并研发配套装备。

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